MEMS傳感器是什么?MEMS傳感器發(fā)展階段

• 2019年1月10日 WuZhiCong來源：互聯(lián)網(wǎng) 488 26
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MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanicalSystem)，微機(jī)電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。你可以把它理解為利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，用微米技術(shù)在芯片上制造微型機(jī)械，并將其與對(duì)應(yīng)電路集成為一個(gè)整體的技術(shù)。所以它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺(tái)。

MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，在微米量級(jí)的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。

目前，中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)尚處于起步階段。目前，具有一定知名度和出貨量的本土MEMS企業(yè)仍然屈指可數(shù)，逐鹿中國(guó)市場(chǎng)的主要競(jìng)爭(zhēng)者仍以跨國(guó)企業(yè)為主。如今，我國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)品在精度和敏感度等性能指標(biāo)上與國(guó)外存在巨大差距，應(yīng)用范圍也多局限于傳統(tǒng)領(lǐng)域。中高檔傳感器產(chǎn)品絕大部分從國(guó)外進(jìn)口，90%的芯片依賴國(guó)外。

2017年我國(guó)MEMS傳感器的市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到335億元，已經(jīng)成長(zhǎng)為全球最大的幾個(gè)MEMS傳感器市場(chǎng)之一。

無論在全球還是我國(guó)，MEMS傳感器的主要應(yīng)用市場(chǎng)都是在汽車以及消費(fèi)電子市場(chǎng)，其次在于醫(yī)療和工業(yè)。

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