第一章 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)概念界定及發(fā)展環(huán)境剖析??? 1 第一節(jié) 導(dǎo)體設(shè)備的概念界定及統(tǒng)計(jì)口徑說明? 1 一、半導(dǎo)體及半導(dǎo)體設(shè)備界定??? 1 二、半導(dǎo)體設(shè)備的分類?????? 1 三、本報(bào)告數(shù)據(jù)來源及統(tǒng)計(jì)口徑說明?????? 1 第二節(jié) 導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)政策環(huán)境分析? 2 一、行業(yè)監(jiān)管體系及機(jī)構(gòu)??? 2 二、行業(yè)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)?????? 3 三、行業(yè)發(fā)展相關(guān)政策匯總及解讀??? 5 四、行業(yè)發(fā)展中長期規(guī)劃匯總及解讀?????? 6 五、政策環(huán)境對半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展的影響分析??? 7 第三節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)經(jīng)濟(jì)環(huán)境分析???? 7 一、宏觀經(jīng)濟(jì)現(xiàn)狀?????? 7 二、經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型升級發(fā)展分析?????? 10 三、宏觀經(jīng)濟(jì)展望?????? 12 四、經(jīng)濟(jì)環(huán)境對半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展的影響分析??? 18 第四節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)社會(huì)環(huán)境分析???? 18 一、中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展?????? 18 二、研發(fā)經(jīng)費(fèi)投入增長?????? 20 三、其他相關(guān)社會(huì)因素?????? 23 四、社會(huì)環(huán)境對半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展的影響分析??? 26 第五節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)技術(shù)環(huán)境分析???? 26 一、半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)迭代歷程??? 26 二、存儲芯片制程演進(jìn)?????? 29 三、尺寸縮減及3d結(jié)構(gòu)化發(fā)展 31 四、 相關(guān)專利的申請情況分析? 33 五、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)技術(shù)發(fā)展趨勢??? 34 六、技術(shù)環(huán)境對半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展的影響分析??? 34 第六節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展機(jī)遇與挑戰(zhàn)? 34
第二章 半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展及半導(dǎo)體設(shè)備的地位分析??? 35 第一節(jié) 全球半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展分析???? 35 一、全球半導(dǎo)體行業(yè)整體規(guī)模??? 35 二、全球半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用結(jié)構(gòu)分析??? 35 三、全球半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)分析??? 35 四、全球半導(dǎo)體行業(yè)區(qū)域發(fā)展分析??? 35 五、全球半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展趨勢分析??? 36 第二節(jié) 中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展分析???? 37 一、行業(yè)整體發(fā)展情況?????? 37 二、半導(dǎo)體設(shè)計(jì)業(yè)發(fā)展?????? 37 三、半導(dǎo)體制造業(yè)發(fā)展?????? 38 四、半導(dǎo)體封裝測試業(yè)發(fā)展?????? 39 五、中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展趨勢分析??? 40 第三節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中的位置???? 43 第四節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備對半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的影響分析? 43
第三章 全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢前景分析?? 44 第一節(jié) 全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析???? 44 一、全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展歷程??? 44 二、全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀??? 45 三、全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)競爭格局分析??? 48 第二節(jié) 全球主要區(qū)域半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析???? 50 一、全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移狀況??? 50 二、韓國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析??? 51 三、北美半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析??? 54 四、日本半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析??? 57 第三節(jié) 全球半導(dǎo)體設(shè)備主要企業(yè)發(fā)展分析???? 61 一、應(yīng)用材料( applied materials, inc. )?????? 61 二、泛林半導(dǎo)體( lam research )??? 62 三、荷蘭asml ( advanced semiconductor material lithography )?? 63 四、東京電子(tel)???? 64 第四節(jié) 全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢及經(jīng)驗(yàn)借鑒? 65
第四章 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析 68 第一節(jié) 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展概述???? 68 一、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展歷程分析??? 68 二、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場特征分析??? 68 第二節(jié) 國導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)進(jìn)出口市場分析? 69 一、中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)進(jìn)口市場分析??? 69 二、中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)出口市場分析??? 70 第三節(jié) 導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程分析???? 70 一、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程?????? 70 二、技術(shù)突破加速推進(jìn)國產(chǎn)化進(jìn)程??? 71 第四節(jié) 國導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)在全球地位分析? 71 一、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模分析??? 71 二、中國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模占全球比重?????? 71 第五節(jié) 中國半導(dǎo)體設(shè)備市場供需狀況分析???? 71 一、中國半導(dǎo)體設(shè)備參與者類型及規(guī)模??? 71 二、中國半導(dǎo)體設(shè)備供給水平??? 72 三、中國半導(dǎo)體設(shè)備需求狀況??? 73 第六節(jié) 中國臺灣地區(qū)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析???? 74 一、中國臺灣地區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展情況??? 74 二、中國臺灣地區(qū)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況??? 75 第七節(jié) 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展痛點(diǎn)分析???? 76
第五章 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)競爭狀態(tài)及競爭格局分析??? 77 第一節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)投資、兼并與重組分析???? 77 一、行業(yè)融資現(xiàn)狀?????? 77 二、行業(yè)兼并與重組??? 83 第二節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)波特五力模型分析???? 84 一、現(xiàn)有競爭者之間的競爭?????? 84 二、行業(yè)潛在進(jìn)入者威脅??? 85 三、行業(yè)替代品威脅分析??? 85 四、行業(yè)供應(yīng)商議價(jià)能力分析??? 85 五、行業(yè)購買者議價(jià)能力分析??? 86 六、行業(yè)競爭情況總結(jié)?????? 86 第三節(jié) 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)企業(yè)競爭格局分析???? 86 第四節(jié) 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)全球競爭力分析? 87
第六章 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)細(xì)分市場分析 89 第一節(jié) 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)構(gòu)成分析???? 89 第二節(jié) 中國半導(dǎo)體光刻設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析???? 89 一、半導(dǎo)體光刻工藝概述??? 89 二、半導(dǎo)體光刻技術(shù)發(fā)展分析??? 90 三、半導(dǎo)體光刻機(jī)發(fā)展現(xiàn)狀分析?????? 93 四、半導(dǎo)體光刻設(shè)備發(fā)展趨勢分析??? 95 第三節(jié) 中國半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析???? 96 一、半導(dǎo)體刻蝕工藝概述.?? 96 二、半導(dǎo)體刻蝕工藝發(fā)展情況.?? 96 三、半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀分析??? 98 四、半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備發(fā)展趨勢分析??? 99 第四節(jié) 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析???? 100 一、半導(dǎo)體清洗工藝概述??? 100 二、半導(dǎo)體清洗技術(shù)發(fā)展分析??? 101 三、半導(dǎo)體清洗設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀分析??? 103 四、半導(dǎo)體清洗設(shè)備發(fā)展趨勢分析??? 104 第五節(jié) 中國半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析???? 106 一、半導(dǎo)體薄膜沉積工藝概述??? 106 二、半導(dǎo)體薄膜沉積技術(shù)發(fā)展分析??? 106 三、半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀分析??? 109 四、半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備發(fā)展趨勢分析??? 110 第六節(jié) 中國導(dǎo)體封裝設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析? 112 一、半導(dǎo)體封裝工藝概述??? 112 二、半導(dǎo)體封裝技術(shù)發(fā)展分析??? 112 三、半導(dǎo)體封裝設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀分析??? 115 四、半導(dǎo)體封裝設(shè)備發(fā)展趨勢分析??? 117 第七節(jié) 中國半導(dǎo)體測試設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析???? 117 一、半導(dǎo)體測試工藝概述??? 117 二、半導(dǎo)體測試技術(shù)發(fā)展分析??? 118 三、半導(dǎo)體測試設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀分析??? 120 四、半導(dǎo)體測試設(shè)備發(fā)展趨勢分析??? 122 第八節(jié) 中國半導(dǎo)體制造其他設(shè)備發(fā)展分析???? 122 一、單晶爐設(shè)備??? 122 二、氧化/擴(kuò)散設(shè)備????? 124 三、離子注入設(shè)備?????? 125
第七章 中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營分析?????? 129 第一節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)代表企業(yè)概況???? 129 第二節(jié) 導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)代表性企業(yè)案例分析???? 130 一、中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司 130 二、北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司?????? 132 三、沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司??? 136 6、企業(yè)發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)的優(yōu)劣勢分析???? 141 四、杭州長川科技股份有限公司?????? 143 五、蘇州賽騰精密電子股份有限公司?????? 146 六、盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司 149 七、北京華峰測控技術(shù)股份有限公司?????? 153 八、武漢精測電子集團(tuán)股份有限公司?????? 156 九、北京屹唐半導(dǎo)體科技有限公司??? 161 十、上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司 163 十一、沈陽拓荊科技有限公司??? 165 十二、上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司??? 169 十三、長春國科精密光學(xué)技術(shù)有限公司??? 175 十四、北京華卓精科科技股份有限公司??? 176 十五、中國電子科技集團(tuán)有限公司??? 180
第八章 2022-2027年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測與投資機(jī)會(huì)分析? 183 第一節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)投資潛力分析???? 183 一、行業(yè)生命周期分析?????? 183 二、行業(yè)發(fā)展?jié)摿Ψ治?/span>?????? 183 第二節(jié) 2022-2027年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)供需規(guī)模預(yù)測分析???? 184 一、2022-2027年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)供給規(guī)模預(yù)測分析?? 184 二、2022-2027年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)需求規(guī)模預(yù)測分析?? 185 第三節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測???? 185 一、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢??? 185 二、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測??? 186 第四節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)投資特性分析???? 186 一、行業(yè)進(jìn)入壁壘分析?????? 186 二、行業(yè)投資風(fēng)險(xiǎn)預(yù)警?????? 187 第五節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)投資價(jià)值與投資機(jī)會(huì)? 187 一、行業(yè)投資價(jià)值分析?????? 187 二、行業(yè)投資機(jī)會(huì)分析?????? 188 第六節(jié) 半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)投資策略與可持續(xù)發(fā)展建議???? 189 一、行業(yè)投資策略分析?????? 189 二、行業(yè)可持續(xù)發(fā)展建議??? 190
圖表目錄: 圖表:半導(dǎo)體設(shè)備中長期規(guī)劃及解讀?????? 5 圖表:半導(dǎo)體設(shè)備中長期規(guī)劃及解讀?????? 6 圖表:2021年半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的pct國際專利申請前10機(jī)構(gòu)? 33 圖表:全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷程?????? 45 圖表:2017-2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售金額及其增速?????? 46 圖表:2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售金額(單位:億美元)? 46 圖表:2020-2021年全球市場結(jié)構(gòu)變化對比?? 47 圖表:2020-2021年細(xì)分產(chǎn)品結(jié)構(gòu)?? 48 圖表:2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的競爭格局???? 50 圖表:2019-2021年韓國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展規(guī)模(單位:億美元)?????? 53 圖表:2018-2020年全球十大半導(dǎo)體企業(yè)排名?????? 55 圖表:2019-2021年韓國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展規(guī)模(單位:億美元)?????? 57 圖表:2019-2021年韓國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展規(guī)模(單位:億美元)?????? 61 圖表:國家集成電路產(chǎn)業(yè)大基金投資方向?????? 79 圖表:2021年8月-2022年8月投資情況匯總????? 81 圖表:2021年8月-2022年8月中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)并購情況匯總? 83 圖表:國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)業(yè)務(wù)分布?????? 85 圖表:2020年各家企業(yè)創(chuàng)收盈利???? 86 圖標(biāo):2019年-2021年,企業(yè)中標(biāo)情況? 87 圖表;2021年中國半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化率???? 88 圖表:2021年蝕刻設(shè)備市場規(guī)模(單位:億元)? 98 圖表:中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)主要產(chǎn)品及技術(shù)??? 104 圖表:2021年國內(nèi)封裝設(shè)供應(yīng)規(guī)模規(guī)模(單位:億元)???? 115 圖表:國內(nèi)封裝設(shè)備市場企業(yè)產(chǎn)能及競爭情況。??? 116 圖表:中國測試市場設(shè)備市場規(guī)模??? 121 圖表:中國氧化擴(kuò)散市場設(shè)備市場規(guī)模(單位:億元)?????? 125 圖表:中國離子注入機(jī)市場設(shè)備市場規(guī)模(單位:億元)??? 127 圖表:2021年半導(dǎo)體設(shè)備代表企業(yè)優(yōu)勢分析? 129 圖表:2019-2021年企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 130 圖表:2021年企業(yè)業(yè)務(wù)板塊收入???? 131 圖表:2019-2021年企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 133 圖表:2021年企業(yè)業(yè)務(wù)板塊收入???? 134 圖表:2019-2021年企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 137 圖表:2021年企業(yè)業(yè)務(wù)板塊收入???? 137 圖表:2019-2021年企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 143 圖表:2021年企業(yè)業(yè)務(wù)板塊收入???? 144 圖表:2019-2021年企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 147 圖表:2021年企業(yè)業(yè)務(wù)板塊收入???? 147 圖表:2019-2021年企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 150 圖表:2021年企業(yè)業(yè)務(wù)板塊收入???? 150 圖表:企業(yè)部分半導(dǎo)體設(shè)備優(yōu)勢對比?????? 152 圖表:2019-2021年企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 153 圖表:2021年企業(yè)業(yè)務(wù)板塊收入???? 154 圖表:2019-2021年企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 156 圖表:2021年企業(yè)業(yè)務(wù)板塊收入???? 157 圖表:2019-2021年6月企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 162 圖表:2019-2021年企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 166 圖表:2021年企業(yè)業(yè)務(wù)板塊收入???? 166 圖表:2019-2021年企業(yè)經(jīng)營主要指標(biāo)?? 169 圖表:2021年企業(yè)業(yè)務(wù)板塊收入???? 170 圖表:2022-2027年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)供給規(guī)模預(yù)測(億美元)?? 184 圖表:2022-2027年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)需求規(guī)模預(yù)測(億美元)?? 185
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