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新型超短脈沖激光器用于高效率太陽能電池制造
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http://www.mamogu.com 發(fā)稿日期:2008-12-17
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傳統(tǒng)上用于激光邊緣絕緣、激光刻槽埋柵及導(dǎo)通鉆孔的激光加工設(shè)備中,采用的激光器絕大多數(shù)是脈沖寬度在納秒量級,波長則往往是紅外波段的1064nm。然而,采用皮秒超短脈沖寬度和綠光或紫外波段波長的激光器,可以提高劃線精度,同時減少激光在晶體硅片內(nèi)的造成的損傷(或微裂)。新型的Talisker激光器在業(yè)界率先將這兩個優(yōu)勢引入太陽能電池制造。
相干(Coherent)公司是納秒級脈沖激光器的領(lǐng)先供應(yīng)商,AVIATM和PRISMATM系列激光器已經(jīng)廣泛應(yīng)用于晶體硅及薄膜太陽能電池的24小時/7天批量生產(chǎn)。Talisker系列激光器正是相干(Coherent)公司在上述激光器的基礎(chǔ)上研發(fā)而成,與上述納秒級激光器具有相似的輸出能量及速度(即脈沖重復(fù)頻率)。但是,由于Talisker系列激光器具有更短的脈沖寬度,其峰值強度提高了幾個數(shù)量級,更有利于精確劃線,并大大減小激光/材料作用過程中的熱損傷。
Talisker激光的另一個優(yōu)勢是可以通過軟件控制方式,實現(xiàn)紅外,綠光或紫光波段的激光輸出。由于綠光和紫外波段,尤其是355nm的紫外激光具有極短的材料穿透深度,因此采用紫外或綠光波段激光對于在晶體硅片上進行高度局域化的表面劃線是必需的。同時具有皮秒超短脈沖寬度和綠光/紫外波長的高能量激光器,將把用于高效率晶體硅太陽能電池制造的激光精度提高到全新的水平,例如對表面絕緣材料進行選擇性去除,而不損傷到下面的晶體硅材料。同樣地,在薄膜太陽能電池加工中,以更高的精度進行刻劃也是非常關(guān)鍵的,例如對銅銦鎵硒(CIGS)的P2和P3工藝激光劃線。
Talisker系列采用了基于光纖激光技術(shù)的模塊化、可擴展設(shè)計。該激光器依靠單相電力運轉(zhuǎn),幾乎沒有任何外部消耗。由于內(nèi)置了診斷及遠程以太網(wǎng)維護接口,Talisker激光可以方便的集成到在線“交鑰匙”工具中。得益于光纖/自由空間激光頭設(shè)計,整個激光器的底板面積小于40 cm x 100 cm。 - ■ 與【新型超短脈沖激光器用于高效率太陽能電池制造】相關(guān)新聞
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