芯片強(qiáng)則產(chǎn)業(yè)強(qiáng)，芯片興則經(jīng)濟(jì)興，沒有芯片就沒有安全。

作為高端制造業(yè)的“皇冠明珠”，芯片即集成電路，是衡量一個國家綜合實(shí)力的重要標(biāo)志之一，是信息產(chǎn)業(yè)的核心。曾經(jīng)，我國集成電路高端裝備和材料基本處于空白狀態(tài)，完全依賴進(jìn)口。如今，2萬多名科技工作者歷經(jīng)9年攻關(guān)，國家科技重大專項(xiàng)成功打造集成電路制造業(yè)創(chuàng)新體系，引領(lǐng)和支撐我國集成電路產(chǎn)業(yè)快速崛起，輻射帶動了LED和光伏產(chǎn)業(yè)世界領(lǐng)先。

5月23日，國家科技部會同北京市和上海市人民政府組織召開了國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”(簡稱集成電路專項(xiàng))成果發(fā)布會，宣布國家科技重大專項(xiàng)打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標(biāo)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)。

主流工藝水平提升5代高端裝備和材料從無到有

科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏介紹，集成電路芯片是信息時(shí)代的基石，集成電路制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細(xì)制造的最高水平。專項(xiàng)技術(shù)總師葉甜春將集成電路比喻為現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”，汽車、工業(yè)控制等各種電子產(chǎn)品和系統(tǒng)都離不開集成電路。沒有集成電路產(chǎn)業(yè)支撐，信息社會就失去了根基。

在先進(jìn)制造裝備、材料和工藝引進(jìn)等方面，我國集成電路產(chǎn)業(yè)長期以來受到西方的種種限制，高端芯片主要依賴進(jìn)口。我國集成電路產(chǎn)品從2006年開始超過石油成為我國最大宗進(jìn)口產(chǎn)品，2013年至今每年進(jìn)口額超過2000億美元。

為實(shí)現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展，2008年國務(wù)院批準(zhǔn)實(shí)施集成電路專項(xiàng)，主攻裝備、工藝和材料的自主創(chuàng)新。陳傳宏介紹，該專項(xiàng)由北京市和上海市人民政府牽頭組織實(shí)施。共有200多家企事業(yè)單位、2萬多名科學(xué)工作者參與技術(shù)攻關(guān)，集中在北京、上海、江蘇、沈陽、深圳和武漢等6個產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。

“經(jīng)過9年攻關(guān)，我國已研制成功14納米刻蝕機(jī)、薄膜沉積等30多種高端裝備和靶材、拋光液等上百種材料產(chǎn)品，性能達(dá)到國際先進(jìn)水平?！比~甜春介紹，這些產(chǎn)品通過大生產(chǎn)線的嚴(yán)格考核，開始批量應(yīng)用并出口到海外，從而實(shí)現(xiàn)了從無到有的突破，使我國集成電路制造技術(shù)體系和產(chǎn)業(yè)生態(tài)得以建立和完善。

而在專項(xiàng)實(shí)施前，國內(nèi)集成電路制造最先進(jìn)的量產(chǎn)工藝為130納米，研發(fā)工藝為90納米。9年來，我國主流工藝水平提升了5代，55、40、28納米三代成套工藝研發(fā)成功并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，22、14納米先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)取得突破，形成了自主知識產(chǎn)權(quán)。封裝企業(yè)也從低端進(jìn)入高端，三維高密度集成技術(shù)達(dá)到了國際先進(jìn)水平。這些工藝制造的智能手機(jī)、通訊設(shè)備、智能卡等芯片產(chǎn)品大批量進(jìn)入市場，提高了我國信息產(chǎn)業(yè)的競爭力。

形成自主知識產(chǎn)權(quán)體系支撐企業(yè)參與國際競爭

缺乏自主知識產(chǎn)權(quán)一直是制約我國集成電路企業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展的瓶頸問題。葉甜春表示，培育自主知識產(chǎn)權(quán)體系是科技重大專項(xiàng)組織實(shí)施的重中之重。專項(xiàng)提出了“專利導(dǎo)向下的研發(fā)戰(zhàn)略”，實(shí)施9年來共申請了2.3萬余項(xiàng)國內(nèi)發(fā)明專利和2000多項(xiàng)國際發(fā)明專利，所形成的知識產(chǎn)權(quán)體系使國內(nèi)企業(yè)在國際競爭中的實(shí)力和地位發(fā)生了巨大變化，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國際合作”的新模式。

我國集成電路產(chǎn)業(yè)近幾年蓬勃發(fā)展，重大專項(xiàng)發(fā)揮了顯著的創(chuàng)新引領(lǐng)和技術(shù)支撐作用。上海市科委總工程師傅國慶表示，集成電路裝備既是信息產(chǎn)業(yè)的核心支撐技術(shù)，又是制造業(yè)的領(lǐng)先高端技術(shù)，是兩個產(chǎn)業(yè)的交叉戰(zhàn)略制高點(diǎn)。集成電路裝備對配套產(chǎn)業(yè)的技術(shù)要求很高，它的發(fā)展帶動了我國精密加工能力、表面處理能力、基礎(chǔ)材料、基礎(chǔ)工藝、基礎(chǔ)零部件等水平的提升，推動我國制造業(yè)向高端發(fā)展。

據(jù)了解，利用專項(xiàng)取得的核心技術(shù)，輻射應(yīng)用到LED、傳感器、光伏、液晶面板等泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，使我國相關(guān)領(lǐng)域裝備國產(chǎn)化率大幅提升。國內(nèi)企業(yè)應(yīng)用專項(xiàng)的高端成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備，使得我國LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競爭力大幅躍升，投資成本顯著降低，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實(shí)現(xiàn)了國際領(lǐng)先。

專項(xiàng)布局產(chǎn)業(yè)規(guī)劃形成市場優(yōu)勢

集成電路專項(xiàng)以培育真正可用產(chǎn)品、做大做強(qiáng)企業(yè)為目標(biāo)，進(jìn)行了組織實(shí)施的機(jī)制體制創(chuàng)新。北京市經(jīng)信委主任張伯旭介紹，“下游考核上游，整機(jī)考核部件，應(yīng)用考核技術(shù)，市場考核產(chǎn)品”的考核制，保證了科研成果的實(shí)用性，成就了一大批經(jīng)得起市場檢驗(yàn)的高端產(chǎn)品。

采取產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、金融鏈有效協(xié)同的新模式，專項(xiàng)與重點(diǎn)區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局，主動引導(dǎo)地方和社會的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)支持，有效推動了專項(xiàng)成果產(chǎn)業(yè)化，扶植企業(yè)做大做強(qiáng)，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提高整體產(chǎn)業(yè)實(shí)力。

傅國慶表示，面向2020年，專項(xiàng)將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān)，推動創(chuàng)新成果的規(guī)模化應(yīng)用，培育具有國際競爭力的產(chǎn)業(yè)集群。

葉甜春介紹，專項(xiàng)已在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進(jìn)行了系統(tǒng)部署，預(yù)計(jì)到2018年將全面進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化?！笆濉边€將重點(diǎn)支持7—5納米工藝和三維存儲器等國際先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競爭力，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢。