由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發(fā)展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。
一、特種氣體的概念及產業(yè)鏈
電子特種氣體(簡稱電子特氣),是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。在整個半導體行業(yè)的生產過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣,而且所用氣體的品種多、質量要求高,所以電子氣體又有半導體材料的“糧食”之稱。
電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業(yè),或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發(fā)展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。
從電子特氣產業(yè)鏈來看,上游原料是空氣、空氣廢氣以及基礎化學原料,設備則包括氣體設備、氣體分離設備、氣體純化設備、壓力容器等;下游則是主要應用領域,包括但不限于集成電路、顯示面板、LED與光伏等泛半導體行業(yè)。
國內的超高純度凈化技術主要依賴進口,自身的技術水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進行末端凈化,使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級,并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小,從而極大地改善工藝能力,降低產品缺陷, 提高制程的產量,滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發(fā)展的需要。本項目將形成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技術,解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產化問題。
特種氣體占工業(yè)氣體比重在20%左右。近幾年來,隨著我國工業(yè)氣體行業(yè)的快速發(fā)展,特種氣體的市場需求得到快速成長,市場規(guī)模實現(xiàn)持續(xù)高增速發(fā)展。2016年中國的特種氣體市場規(guī)模為156億元,到2020年已經達到282億元。2016年-2020年期間,中國特種氣體市場年平均增速達15%以上,增速明顯。據(jù)第三方機構預計,接下來特種氣體市場仍將保持15%以上高速增長趨勢,預計2025年中國特種氣體市場有望達到691億元的規(guī)模。
我國正積極承接全球第三次半導體產業(yè)轉移,2021年中國電子特氣市場規(guī)模約為196億元,未來隨著先進制程及存儲技術需求增加、顯示市場持續(xù)增長、“碳中和”及“碳達峰”對光伏需求的增加,將顯著拉動我國電子特氣需求,也將進一步加速電子特氣國產化進程。
根據(jù)中研普華產業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年中國電子特氣行業(yè)發(fā)展趨勢及投資預測報告》顯示:
與國外氣體公司相比,大部分國內氣體公司的供應產品較為單一,純度級別不高,尤其在液晶面板、LED、光纖通信、光伏等高端領域,相關特種氣體產品主要依賴進口。根據(jù)中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計,目前集成電路生產用的特種氣體中,我國僅能生產約20%的品種,其余均依賴進口。我國國內企業(yè)所能批量生產的特種氣體目前仍主要集中在集成電路的清洗、蝕刻、光刻等工藝環(huán)節(jié),對摻雜、沉積等工藝的特種氣體僅有少部分品種取得突破。但最近幾年,國內企業(yè)正在技術上奮起直追,在需求拉動下,市場占有率正不斷提高。
近年來隨著我國電子特氣制造企業(yè)不斷實現(xiàn)關鍵核心技術的創(chuàng)新突破,與國際先進水平差距進一步縮小,外資氣體公司在我國的市場份額有所下滑。國內部分電子特氣廠商如凱美特氣、華特氣體、金宏氣體、派瑞氣體、綠菱氣體等公司迅速崛起,實現(xiàn)了部分電子特氣產品的進口替代,國內企業(yè)占據(jù)我國電子特氣行業(yè)的市場份額不斷提升。
全球氣體行業(yè)兩極分化嚴重,前五大廠家占據(jù)了近80%的市場規(guī)模,而另外的近萬家廠家只占據(jù)了不到20%的市場規(guī)模。目前,世界特種氣體行業(yè)基本被美、德、法、日等國家的幾大公司壟斷,并有繼續(xù)向發(fā)展中國家擴張的趨勢。目前,在中國工業(yè)氣體市場上,國際六大氣體公司都已悉數(shù)進入中國,包括德國林德公司、法國液化空氣公司、美國普萊克斯公司(Praxair)、美國空氣化工產品公司(APCI)、日本大陽日酸公司(NipponSanso)和德國梅塞爾公司(Messer)。
我國LED市場規(guī)模也保持增長走勢,2021年全國LED市場規(guī)模達到9428億元,增速9.3%,較2017年LED市場規(guī)模擴張了3070億元。當前我國電子特氣行業(yè)的主要下游產業(yè)均呈現(xiàn)出迅猛發(fā)展態(tài)勢,隨著下游集成電路、顯示面板、LED、光伏、電子產品等新興行業(yè)的產業(yè)規(guī)模不斷壯大,我國電子特氣行業(yè)也將迎來高速發(fā)展。
2022年7月國家工信部、科技部、自然資源部聯(lián)合發(fā)布《“十四五”原材料工業(yè)發(fā)展規(guī)劃》,要求圍繞集成電路、信息通信、能源產業(yè)等重點應用領域,攻克特種涂層、光刻膠、工業(yè)氣體、催化、光功能、儲氫材料等一批關鍵材料。在國家政策不斷利好電子特氣行業(yè)發(fā)展的背景下,我國電子特氣行業(yè)有著廣闊光明的發(fā)展前景。
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2023-2028年中國電子特氣行業(yè)發(fā)展趨勢及投資預測報告
電子特種氣體(簡稱電子特氣),是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。在整個半導體行業(yè)的生產過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣,而且所...
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