微系統(tǒng),又稱微機(jī)電系統(tǒng),微系統(tǒng)技術(shù)融合了微電子、微機(jī)電和微光電技術(shù),通過系統(tǒng)架構(gòu)和軟件算法,將微傳感器、微控制器、微執(zhí)行器、微能源及各種接口等構(gòu)成一體化軟、硬件多功能集成,采用微納制造及微集成工藝實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的微納尺度化。
微系統(tǒng)的概念
微系統(tǒng),又稱微機(jī)電系統(tǒng),微系統(tǒng)技術(shù)融合了微電子、微機(jī)電和微光電技術(shù),通過系統(tǒng)架構(gòu)和軟件算法,將微傳感器、微控制器、微執(zhí)行器、微能源及各種接口等構(gòu)成一體化軟、硬件多功能集成,采用微納制造及微集成工藝實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的微納尺度化。它被公認(rèn)為21世紀(jì)的革命性技術(shù)之一。微系統(tǒng)具有高集成度、微小型化、低功耗、高可靠性、高效率等優(yōu)點(diǎn)。微系統(tǒng)技術(shù)上的新材料、新方法、新工藝等技術(shù)變革必將對軍民兩用的系統(tǒng)研發(fā)和制造帶來顛覆性影響。
微系統(tǒng)技術(shù)融合了微電子、微機(jī)電和微光電技術(shù),通過系統(tǒng)架構(gòu)和軟件算法,將微傳感器、微控制器、微執(zhí)行器、微能源及各種接口等構(gòu)成一體化軟、硬件多功能集成,采用微納制造及微集成工藝實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的微納尺度化。它被公認(rèn)為21世紀(jì)的革命性技術(shù)之一。微系統(tǒng)具有高集成度、微小型化、低功耗、高可靠性、高效率等優(yōu)點(diǎn)。微系統(tǒng)技術(shù)上的新材料、新方法、新工藝等技術(shù)變革必將對軍民兩用的系統(tǒng)研發(fā)和制造帶來顛覆性影響。微系統(tǒng)技術(shù)的發(fā)展主要集中在MMIC、MCM、MEMS、SOC、SIP等技術(shù)上,其中又以MEMS為主。
20世紀(jì)60年代以來,微系統(tǒng)技術(shù)經(jīng)歷了從微器件的設(shè)想到微壓力傳感器的問世,逐步實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破和制造工藝的改進(jìn),至今進(jìn)入集成技術(shù)大力發(fā)展階段,在信息、生物、航天、軍事等領(lǐng)域已有廣泛應(yīng)用。美國等發(fā)達(dá)國家在二十世紀(jì)末已將微系統(tǒng)技術(shù)列為現(xiàn)代前沿核心技術(shù),并納入國防科技攻關(guān)計(jì)劃,掌握微系統(tǒng)技術(shù)對于國家保持技術(shù)領(lǐng)先優(yōu)勢具有重要意義。微系統(tǒng)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展如今也受到我國各部門、相關(guān)高校和科研機(jī)構(gòu)的高度重視和大力支持,深入研究勢在必行。
20世紀(jì)90年代后期,光微系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展迅速。世界各地的研究人員競相開發(fā)微光機(jī)電系統(tǒng)和器件,希望能將二元光學(xué)透鏡、衍射光柵、可調(diào)光微鏡、干涉濾波器,相位調(diào)制器等部件應(yīng)用到光學(xué)顯示、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)、可調(diào)濾波器、氣體光譜分析儀和路由器等應(yīng)用領(lǐng)域。生物微系統(tǒng)技術(shù)包括生物學(xué)研究、醫(yī)療診斷和臨床介入等方面的微系統(tǒng)技術(shù)研究和應(yīng)用。由于生物微系統(tǒng)技術(shù)結(jié)構(gòu)和器件的尺寸大小、集成功能多,它們已經(jīng)在一些醫(yī)療方面得到應(yīng)用,例如視網(wǎng)膜植入,耳蝸植入、嵌入生理傳感器以及含有傳感器的智能手術(shù)工具等。
微系統(tǒng)行業(yè)市場發(fā)展現(xiàn)狀分析
MST的前景是壯觀的,其工藝是從集成電路加工派生出的批量加工技術(shù)。預(yù)期,MST將會(huì)同集成電路一樣,通過新的而且便宜的產(chǎn)品來改變?nèi)藗兊纳?。MST的潛在應(yīng)用包括汽車?yán)锏膲毫鞲衅骱图铀俣扔?jì),也包括流量傳感器、溫度傳感器、力傳感器、位置傳感器、磁場傳感器、化學(xué)傳感器、光傳感器、紅外輻射產(chǎn)傳感器等,MST不但便宜,而且具有獨(dú)特的性能。我們認(rèn)為,下一代的器件將使用微泵、流量傳感器、微混合器、微篩、微反應(yīng)器等,在醫(yī)藥、過程控制、化學(xué)分析等領(lǐng)域應(yīng)用在生物、化學(xué)和生化分析系統(tǒng)中。
再向未來做進(jìn)一步展望,微型機(jī)器人將應(yīng)用在電荷耦合器件(CCD)照相機(jī)中,對CCD芯片的位置做主動(dòng)的優(yōu)化;也可以應(yīng)用在CD設(shè)置中,用來定位光學(xué)元件;還可以幫助外科醫(yī)生做手術(shù);可以維修其它微系統(tǒng);微機(jī)器人能夠在超凈間執(zhí)行操作和檢修任務(wù)。以上列出了最近幾十年內(nèi)MST的一些可能應(yīng)用,有許多可能沒有列出,因?yàn)镸ST的發(fā)展在很大程度上具有不可預(yù)料性。
根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年中國微系統(tǒng)行業(yè)市場前瞻與未來投資戰(zhàn)略分析報(bào)告》顯示:
微觀世界與宏觀世界有很大的差別。微觀世界中,表面力起到了主要作用,例如表面張力和表面摩擦力等。只有在特殊場合。慣性力和質(zhì)量對微系統(tǒng)才有意義,如加速度計(jì)和重力傳感器,而靜電力和流量剪切力將使機(jī)械機(jī)構(gòu)產(chǎn)生嚴(yán)重的變形。流量具有非常小的雷諾數(shù),所以所有的流量都相當(dāng)黏滯。在微米級系統(tǒng)中表面看起來非常粗糙,但機(jī)械結(jié)構(gòu)卻非常硬和結(jié)實(shí),周圍的溫度將由于強(qiáng)烈的Brownian移動(dòng)而發(fā)生變化。
我國的微系統(tǒng)技術(shù)已有一定進(jìn)展,ASIC器件已經(jīng)進(jìn)行了在軌試驗(yàn)并開始進(jìn)行空間應(yīng)用,但在制造工藝水平上有待提高。現(xiàn)階段我國將“制造屬于自己的微器件”作為我國微系統(tǒng)的發(fā)展目標(biāo),將在利用現(xiàn)有資源和借鑒國外先進(jìn)技術(shù)經(jīng)驗(yàn)的同時(shí)進(jìn)行自我創(chuàng)新,在研發(fā)和生產(chǎn)方面不懈努力,早日實(shí)現(xiàn)我國的微系統(tǒng)行業(yè)繁榮發(fā)展。
近年來,微系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)發(fā)展迅速,微系統(tǒng)集成方法與工藝有了新的突破,微電子器件特征尺寸繼續(xù)減小,微處理器、微射頻器等性能進(jìn)一步提升,碳化硅與氮化鎵等第三代半導(dǎo)體材料器件日益成熟并進(jìn)入應(yīng)用階段,為微系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展提供了有效支撐。微傳感器是傳感技術(shù)微型化的基礎(chǔ),是微系統(tǒng)的重要基礎(chǔ)技術(shù)。近年來,微傳感器性能不斷提升,可感知對象不斷豐富,在生物醫(yī)學(xué)及消費(fèi)電子產(chǎn)品等領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用,對各種傳感裝備的微型化發(fā)展起著巨大的推動(dòng)作用。
智能物聯(lián)網(wǎng)具有極大的發(fā)展?jié)摿?,中國移?dòng)與清華大學(xué)成立聯(lián)合研究院是富有前瞻性之舉,可實(shí)現(xiàn)需求牽引和技術(shù)推動(dòng)的融合。當(dāng)前,存算一體技術(shù)與智能微系統(tǒng)技術(shù)都已取得了顯著的成果,期待后續(xù)進(jìn)一步加強(qiáng)創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈的融合,以前沿技術(shù)解決現(xiàn)有問題,同時(shí)為產(chǎn)業(yè)未來的發(fā)展創(chuàng)造新的機(jī)遇。
中研普華利用多種獨(dú)創(chuàng)的信息處理技術(shù),對市場海量的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集、整理、加工、分析、傳遞,為客戶提供一攬子信息解決方案和咨詢服務(wù),最大限度地降低客戶投資風(fēng)險(xiǎn)與經(jīng)營成本,把握投資機(jī)遇,提高企業(yè)競爭力。想要了解更多最新的專業(yè)分析請點(diǎn)擊中研普華產(chǎn)業(yè)研究院的《2023-2028年中國微系統(tǒng)行業(yè)市場前瞻與未來投資戰(zhàn)略分析報(bào)告》。
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2023-2028年中國微系統(tǒng)行業(yè)市場前瞻與未來投資戰(zhàn)略分析報(bào)告
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