中國離子注入行業(yè)市場發(fā)展前景預測2023

• 陳澤芳 2023年6月2日 來源：互聯(lián)網(wǎng) 658 38
• 繁體

離子注入的雜質(zhì)濃度分布一般呈現(xiàn)為高斯分布，并且濃度最高處不是在表面，而是在表面以內(nèi)的一定深度處。離子注入技術是一個方興未艾的新興產(chǎn)業(yè)，硬件設備的處理能力和效率有待進一步提高，在軟件(離子注入材料表面改性技術)方面，也有待進一步深化和細化，其應用范圍也

離子注入技術又是近30年來在國際上蓬勃發(fā)展和廣泛應用的一種材料表面改性技術。其基本原理是：用能量為100keV量級的離子束入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子將發(fā)生一系列物理的和化學的相互作用，入射離子逐漸損失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、結(jié)構(gòu)和性能發(fā)生變化，從而優(yōu)化材料表面性能，或獲得某些新的優(yōu)異性能。

離子注入的雜質(zhì)濃度分布一般呈現(xiàn)為高斯分布，并且濃度最高處不是在表面，而是在表面以內(nèi)的一定深度處。離子注入技術是一個方興未艾的新興產(chǎn)業(yè)，硬件設備的處理能力和效率有待進一步提高，在軟件(離子注入材料表面改性技術)方面，也有待進一步深化和細化，其應用范圍也有待不斷擴大。

中國離子注入行業(yè)市場發(fā)展前景預測2023

近年來，中國半導體行業(yè)發(fā)展迅速。今年二十大報告提出，注重高質(zhì)量發(fā)展目標，解決重要領域“卡脖子”問題至關重要。而美國對半導體芯片產(chǎn)業(yè)鏈限制的持續(xù)加碼，也促使半導體產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)國產(chǎn)替代比率的大幅提升。

IC工藝對應流程主要分為硅片制造、前道與后道芯片制造環(huán)節(jié)。其中，前道芯片制造是被卡脖子最嚴重的環(huán)節(jié)，設備種類最多、復雜度最高，其流程主要包含薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入、氧化擴散、CMP以及金屬化。據(jù)統(tǒng)計，2022年全球半導體設備市場規(guī)模高達1085億美金，同比增長5.9%。其中，中國大陸地區(qū)為全球最大的設備市場，2022年市場規(guī)模已達到320億美元。放眼國內(nèi)主制程設備、零部件以及量測設備公司，高鵠資本通過深入的產(chǎn)業(yè)鏈分析，提出創(chuàng)業(yè)公司核心壁壘與關鍵指標的判斷標準，希望與行業(yè)內(nèi)的投資人、企業(yè)家們共同交流、探討。

在半導體產(chǎn)業(yè)鏈中，上游為IC設計、半導體材料、半導體設備;中游為半導體制造、半導體封測;下游是各種應用領域。而半導體設備是半導體產(chǎn)業(yè)鏈的關鍵支撐，其技術的實施依賴于各種精密零部件，精密零部件的材料與加工技術是集成電路核心技術的載體，是半導體產(chǎn)業(yè)的基石，幾乎貫穿了半導體生產(chǎn)的整個流程。隨著行業(yè)對制造設備精密零部件的性能要求越來越高，許多加工技術的精度目前已經(jīng)趨于物理極限，泛半導體領域的應用是目前先進陶瓷頂尖技術領域之一。

根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2020-2025年中國離子注入行業(yè)市場發(fā)展前景預測與投資戰(zhàn)略規(guī)劃研究報告2020-2025年中國離子注入行業(yè)市場發(fā)展前景預測與投資戰(zhàn)略規(guī)劃研究報告》顯示：

離子注入是指當真空中有一束離子束射向一塊固體材料時，離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面，這個現(xiàn)象叫做濺射;而當離子束射到固體材料時，從固體材料表面彈了回來，或者穿出固體材料而去，這些現(xiàn)象叫做散射;另外有一種現(xiàn)象是，離子束射到固體材料以后，受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來，并最終停留在固體材料中的這一現(xiàn)象叫作離子注入。在電子工業(yè)中，離子注入成為了微電子工藝中的一種重要的摻雜技術，也是控制MOSFET閾值電壓的一個重要手段。因此在當代制造大規(guī)模集成電路中，可以說是一種必不可少的手段。

離子注入的方法就是在真空中、低溫下，把雜質(zhì)離子加速(對Si，電壓≥105 V)，獲得很大動能的雜質(zhì)離子即可以直接進入半導體中;同時也會在半導體中產(chǎn)生一些晶格缺陷，因此在離子注入后需用低溫進行退火或激光退火來消除這些缺陷。離子注入的雜質(zhì)濃度分布一般呈現(xiàn)為高斯分布，并且濃度最高處不是在表面，而是在表面以內(nèi)的一定深度處。離子注入的優(yōu)點是能精確控制雜質(zhì)的總劑量、深度分布和面均勻性，而且是低溫工藝(可防止原來雜質(zhì)的再擴散等)，同時可實現(xiàn)自對準技術(以減小電容效應)。

全球離子注入機的領先企業(yè)主要分布在中國、美國和日本，其中，中國大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機行業(yè)的龍頭企業(yè)，凱世通在光伏離子注入機方面遙遙領先。而美國則擁有近乎壟斷IC離子注入機市場的應用材料，以及漢辰科技、Axcelis、intevac等企業(yè)。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機知名廠商。

中研普華利用多種獨創(chuàng)的信息處理技術，對市場海量的數(shù)據(jù)進行采集、整理、加工、分析、傳遞，為客戶提供一攬子信息解決方案和咨詢服務，最大限度地降低客戶投資風險與經(jīng)營成本，把握投資機遇，提高企業(yè)競爭力。想要了解更多最新的專業(yè)分析請點擊中研普華產(chǎn)業(yè)研究院的《2020-2025年中國離子注入行業(yè)市場發(fā)展前景預測與投資戰(zhàn)略規(guī)劃研究報告》。

• 相關深度報告REPORTS

  

  2023-2028年版半導體元件產(chǎn)品入市調(diào)查研究報告

  在市場競爭日益激烈、新產(chǎn)品層出不窮的今天，要開發(fā)一個新品并能迅速在市場上推廣其難度是可想而知的。只有經(jīng)過科學的市場分析、消費者分析、競爭對手的分析，做到有的放矢，才能使企業(yè)開發(fā)的新...

  查看詳情

延伸閱讀

推薦閱讀

猜您喜歡