2022年電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)發(fā)展前景及市場規(guī)模調研分析

• 2022年4月26日 ZouJunRong來源：中研網 690 40
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隨著器件的特征尺寸不斷縮小，在掩模版制造中普遍采用電子束曝光和激光光刻設備，在這兩類設備中，電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)在性能和數(shù)量上均占優(yōu)勢。電子束曝光主要有可變矩形電子束曝光系統(tǒng)、電子束投影光刻技術、大規(guī)模平行電子束成像三種技術。

電子束曝光系統(tǒng)發(fā)展現(xiàn)狀、電子束曝光系統(tǒng)未來趨勢如何?隨著器件的特征尺寸不斷縮小，在掩模版制造中普遍采用電子束曝光和激光光刻設備，在這兩類設備中，電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)在性能和數(shù)量上均占優(yōu)勢。電子束曝光主要有可變矩形電子束曝光系統(tǒng)、電子束投影光刻技術、大規(guī)模平行電子束成像三種技術。

2022年電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)發(fā)展前景及市場規(guī)模調研分析

電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。電子束曝光系統(tǒng)(EBL)即用于實現(xiàn)電子束曝光的系統(tǒng)。電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。

電子束曝光(EBL)始于上世紀60年代，是在電子顯微鏡的基礎上發(fā)展起來的用于微電路研究和制造的曝光技術，是半導體微電子制造及納米科技的關鍵設備、基礎設備。

據中研產業(yè)研究院公布《2022-2027年中國電子束曝光系統(tǒng)(EBL)行業(yè)市場深度調研及投資策略預測報告》顯示

電子束曝光是由高能量電子束和光刻膠相互作用，使膠由長(短)鏈變成斷(長)鏈，實現(xiàn)曝光，相比于光刻機具有更高的分辨率，主要用于制作光刻掩模版、硅片直寫和納米科學技術研究。

中國電子束曝光系統(tǒng)產量分析

圖表：中國電子束曝光系統(tǒng)產量及產值情況

數(shù)據來源：中研普華產業(yè)研究院

近年來，中國電子束曝光系統(tǒng)的產量和產值都呈現(xiàn)出較快的增長態(tài)勢。2021年，中國電子束曝光系統(tǒng)的產量約為864臺，同比增長12.06%;產值約為6.82億美元，同比增長18.40%。

美國電子束曝光系統(tǒng)(EBL)產量分析

圖表：2018-2021年美國電子束曝光系統(tǒng)產量和產值情況

數(shù)據來源：中研普華產業(yè)研究院

2021年美國電子束曝光系統(tǒng)的產量約為268臺，較2020年增長了5.10%;產值約為2.29億美元，較2020年增長了6.02%。

歐洲市場電子束曝光系統(tǒng)(EBL)產量、產值及增長率

圖表：2018-2021年歐洲電子束曝光系統(tǒng)產量及產值情況

數(shù)據來源：中研普華產業(yè)研究院

2021年歐洲電子束曝光系統(tǒng)的產量約為1364臺，較2020年增長了6.98%;產值約為14.14億美元，較2020年增長了12.67%。

日本市場電子束曝光系統(tǒng)(EBL)產量、產值及增長率

圖表：2018-2021年日本電子束曝光系統(tǒng)產量及產值情況

數(shù)據來源：中研普華產業(yè)研究院

2021年日本電子束曝光系統(tǒng)的產量約為791臺，較2020年增長了2.06%;產值約為6.87億美元，較2020年增長了3.0%。

電子束曝光系統(tǒng)規(guī)模分析

電子束光刻系統(tǒng)(EBL)的消費地區(qū)為北美、歐洲、亞太等地區(qū)。亞太地區(qū)在2019年占據了最大的收入市場份額，約為48%。其次是歐洲和北美，而其他地區(qū)的市場規(guī)模較小。

據不完全統(tǒng)計，截至2021年底，全球電子束曝光系統(tǒng)產能約為3564臺，產量約為3411臺，產能利用率約為95.71%。2019年，全球電子束曝光系統(tǒng)(EBL)市場規(guī)模達到了11億元，預計2026年將達到14億元，年復合增長率(CAGR)為7.3%。

電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)研究報告旨在從國家經濟和產業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略入手，分析電子束曝光系統(tǒng)未來的政策走向和監(jiān)管體制的發(fā)展趨勢，挖掘電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)的市場潛力，基于重點細分市場領域的深度研究，提供對產業(yè)規(guī)模、產業(yè)結構、區(qū)域結構、市場競爭、產業(yè)盈利水平等多個角度市場變化的生動描繪，清晰發(fā)展方向。

未來行業(yè)市場投資前景如何?想要了解更多行業(yè)詳情分析，可以點擊查看中研普華研究報告《2022-2027年中國電子束曝光系統(tǒng)(EBL)行業(yè)市場深度調研及投資策略預測報告》。報告對行業(yè)相關各種因素進行具體調查、研究、分析，洞察行業(yè)今后的發(fā)展方向、行業(yè)競爭格局的演變趨勢以及技術標準、市場規(guī)模、潛在問題與行業(yè)發(fā)展的癥結所在，評估行業(yè)投資價值、效果效益程度，提出建設性意見建議，為行業(yè)投資決策者和企業(yè)經營者提供參考依據。

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